GD-Profiler系列辉光放电光谱仪

——超快元素深度分布分析工具

●  RF射频发生器- 标准配置，可进行元素总量分析，分析时间约
   为90秒，分析速度比其他表面分析技术快上100倍；溅射率一般
   为3µm/min；
●  实现从1nm至深达150µm的元素深度分布分析；
●  射频辉光放电光谱的灵敏度为10  原子/cm ；
●  一次激发可以同时分析所有元素（包括H, O, Cl等） ；
● 脉冲射频设计的光源为导体、非导体、薄膜、涂层、合金、陶瓷、
   粉末等类型的物质提供了广阔的分析应用前景；
● 多道(同时)型光学系统可全谱覆盖，光谱范围：110nm至800nm，包含远紫外；
● 低至0.3L/分钟的氩气消耗降低了分析成本；
● 独有的单色仪(选配件)可极大的提高仪器的灵活性，即能实现n+1通道分析；
● 专利HDD  检测器可进行快速而高灵敏的检测，动态范围达到10个量级；
● 宽大的样品室方便各类样品的加载；
● 激光指点器(CenterLite laser pointer，专利申请中)可用于精确加载样品。