AST PJ等离子体表面处理仪
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品牌:中文
生产厂家:AST
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1. 电子产品:PCB板、柔性电路板、平板显示器、感光树脂的剥离
2. 医药方面:生物材料表面处理、杀菌、组织培养等
3. 工业方面:高分子膜表面改性、终端安装清洗等
主要特点
1. 专利化能量分布设计,美国专利号:4,887,005 / 5,190,803 / 5,228,963 / 5,48,560 / 5,733,511
2. 采用微处理器控制
3. 适合各种等离子体的处理,如清洗、表面改性和刻蚀等
4. 气体流速精确控制和混合
5. 射频自动匹配功能
6. 高密封的真空系统
主要型号:
1. 间歇式系统:PJ、PS-350/500
2. 客户专用型系统:PS-750/2020/ 3030
3. 大批量系统和滚筒式系统
技术参数:
型号 |
PJ |
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电源要求 |
115/220V, 15A |
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射频功率 |
300W,13.56MHz |
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射频匹配 |
自动匹配 |
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控制方式 |
基于WindowTM的PC控制 |
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仪器尺寸 |
60×60×30cm,35 Kg |
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样品室 |
20cm直径,25cm长 耐高温玻璃,可选择石英 电容耦联,一个气体供应 |
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气体供应 |
包括一个流速控制器 |
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可选附件 |
氧气供应 水蒸气过滤器 真空计 真空阀 真空泵 流速控制器MFC等 |
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型号 |
PS350 |
PS500 |
PS750 |
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射频功率 |
600W,13.56MHz |
600W,13.56MHz |
600W,13.56MHz |
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仪器外观(cm) |
183×63×61 |
203×63×89 |
203×114×63 |
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样品室(cm)(H-W-D) |
42×34×50 |
53×37×68 |
165×38×41 |