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Hitachi日立 S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

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Hitachi日立 S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

Hitachi日立 S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

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品牌：中文
生产厂家：Hitachi日立
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Hitachi日立 S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜
 
产品介绍：

                  S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

研究超大，超重，超高样品的分析型扫描电镜

●  最大可载样品直径达300mm
●  最大观察区域直径达203mm
●  在观察110mm高样品时可进行能谱分析
●  样品室设置多种接口，可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
●  5轴优中心马达台可以倾斜-20o~+90o
●  采用节能，清洁的涡轮分子泵

S-3700N技术参数

 分辨率  SE         3.0nm，30KV(高真空模式)
            10nm，  3KV(高真空模式)
 BSE        4.0nm，30KV（低真空模式）
 放大倍率  x5~x300，000
 加速电压  0.3~30KV
 低真空范围  6~270Pa
 图像电位移  ±50μm （工作距离 10mm）
 最大装载样品  直径300mm

样品台

 X  150mm
 Y  110mm
 Z  5~65mm
 R  360°
 T  -20°~90°
 观测区域  203mm直径
 样品最大高  110mm（工作距离10mm）
 样品台类型  优中心马达台

电子光学系统

 灯丝  预对中灯丝
 物镜光阑  4孔活动光阑4孔活动光阑
 枪偏压  固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
 探测器  二次电子探头
 5分割半导体式被散射探头
 分析位置  工作距离10mm，取出角35°

显示控制系统

 控制模式  键盘鼠标、操纵杆、旋钮板
 显示器  液晶显示器
 辅助功能  3D动画演示功能
 电镜操作导航功能
 样品操作导航功能
 倾斜补偿功能
 存储图像精度  640 x 480 , 1280 x 960
 2560 x 1920 , 5120 x 3840
 图片格式  BMP, TIFF, JPEG
 图像显示模式  全屏模式：1280 x 960
 标准模式：640 x 480
 分割模式：640 x 480 点 x 2
 信号混合模式

真空系统

 控制模式  全自动
 分子  210升/秒，一台
 机械泵  135升/分，一台
 保护措施  断电保护、漏气保护

Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

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Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

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Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
 
产品介绍：

                        

                     SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
   

    日立公司为分析应用推出的新型热场扫描电镜，可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。

特点:
1.   最大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.   配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.   配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.   大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.   可装载150mm直径、40mm高样品
6.   电脑控制的5轴优中心马达样品台

 二次电子分辨率

  1.2nm@30KV

  3.0nm@1KV

  4.5nm@30KV,150Pa
 背散射电子分辨率 3.5nm@30KV
 放大倍率  10~600,000（输出尺寸127x96mm）
 电子枪类型  热场发射
 探针电率  1pA~200nA
 加速电压  0.5~30KV
 物镜光阑  自清洁、4孔可动式
 束闸  电磁式
 样品台  电脑控制的5轴优中心马达样品台
 X  0~110mm
 Y  0~110mm
 Z  4~40mm
 T  -5°~+70°
 R  360°
 最大样品尺寸  直径150mm x 高40mm
 探头  二次电子探头
 背散射电子探头

Hitachi日立 SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

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Hitachi日立 SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

Hitachi日立 SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

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Hitachi日立 SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜
 
产品介绍：

         

             SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

    为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。

特点：
1. 100nA的大探针电流
   新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2. 通用的分析型样品室
   预留了多种接口，可以安装以下附件进行
   分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
   温台，样品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
   观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立
   已被检验的半内透镜技术。
5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合
6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察

 二次电子图象分辨率
 1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
 1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
 2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
 放大倍数
 低放大倍数模式      20-2,000x
 高放大倍数模式      100-800,000x
 电子光学
 电子枪              ZrO/W 肖特基电子枪
 电流                1pA-100nA
 加速电压            0.5-30KV(标准模式)
 着陆电压            0.1-2.0KV(减速模式)
 透镜系统            3级电磁线圈系统
 物镜光阑            4孔光阑,真空外选择和细调
 样品台
 样品台控制        5轴马达控制
 移动范围
 X                      0-110mm
 Y                      0-110mm
 z                      1.5-40mm
 T                      -5O-+700
 R                     360O
 样品尺寸            直径150mm(标准)
 (最大)                直径200mm(可选)
 探测器
 二次电子探测器
 背散射电子探测器(可选)
 STEM探测器(可选)
 法拉第杯(可选)
 X射线能谱仪(可选)
 X射线波谱仪(可选)
 EBSP探测器(可选)
 阴极荧光探测器(可选)