labtch莱伯泰科激光烧蚀系统193nm

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labtch莱伯泰科激光烧蚀系统193nm

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品牌:Labtech 莱伯泰科
生产厂家:labtch莱伯泰科莱伯泰科
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Analyte G2 激光系统,包含一个无与伦比的双体积样品池HELEX,具有一个独一无二的普适性内池设计。
Analyte G2,新一代激光系统具有精细控制,均质化高灵敏度的平顶激光和高度精确的多种剥蚀模式。独有的同步动态剥蚀功能在提供精确控制的同时,能够进行线矩阵或点矩阵的深度剥蚀扫描,这是一个开创性的独家的功能。
Analyte G2提供的安全联锁有效控制了光束传输间隔性,易于重新配置和调整硬件结构,便于用户增强特殊应用,如旋转可变光孔,特别应用的狭缝和联用检测实验的应用程序增加。
Analyte G2配有高分辨率彩色变焦微型视频采集系统,配有导航技术和宽视图功能,能够快速定位到需要剥蚀的样品上。超短脉冲宽度和193nm波长完美结合,创造卓越的成倍剥蚀效率。
因此,Analyte G2 相对于长脉冲激光,其剥蚀所有样品都具有更高的峰能量,产生更容易离子化的细微剥蚀粒子,从而有效降低仪器噪声和分馏效应。
从不透明物质到高透明性物质,包括精细的粉末、硬件石英和高弹的硬质碳酸盐等,Analyte G2 剥蚀的时候都能够做到在单脉冲剥蚀>10nm的优秀成绩。
30 个光斑可选,3um 到 >250 um的超宽范围,从而使 Analyte G2 具有极广的适用性,独一无二的性能,从微区剥蚀到大体积样品分析。

终极的193nm激光烧蚀系统
固态激光的超短脉冲宽度,气态准分子193nm波长 和 均质化高质量平顶光束 构成了卓越的 Analyte G2激光烧蚀系统。

操控性能极佳束传输系统和光学成像系统相比同类型激光系统具有独特的优点。在无须重新调整焦平面的前提下,激光束景深可以被拉长,以便获得持久稳定深度剥蚀效果和优良的剥蚀图像。

 

视频采集系统 (<2um分辨率)

彩色高清 CCD 摄像头显示静态画面的同时,可以插入显示动态图像(FOV),便于导航样品,快速定位。摄像头光路和激光光路同轴垂直于样品表面,防止图像显示失真。
图像对比度,清晰度,聚集性和色彩逼真度诸多方面全盘考虑。激光器与焦平面要具有匹配性,便于容易获得数据的一致性和重复性。

均质化平顶激光束

超前的衍射均质化技术,专利的光束传输技术和精确控制技术在清理和剥蚀样品坑上,具有无比优越的重复性,无需像高脉冲宽度激光那样需要后期修饰。平板技术和均质器分配光束能量密度的技术二者配合使用,使同一平面上激光均匀性,Analyte G2优于其它激光至少 5%

激光系统

193nm气态准分子激光,1-300Hz频率可调,<4ns脉冲宽度,<2% RSD稳定性,即触式非接触自动充气电磁阀。

同步动态剥蚀

Analyte G2 是第一台和唯一一台系统能够具有同步动态剥蚀功能,在提供精确控制的同时,能够进行线矩阵或点矩阵的深度剥蚀扫描。激光发射能够精确同步于XY平台移动,只有具有这样精确的控制技术,才能在表面分析和深度剥蚀的时候,进行线矩阵和点矩阵边对边的无重叠的精确剥蚀。

三维平台控制

Analyte G2 标配有亚微米分辨率的XY移动平台,100mm*100mm行程 ;超大50 mm 的Z 轴聚焦行程,<0.1um步进分辨率,可以兼容超大样品池。

HELEX 双体积样品池

HelEx 双体积样品池,独一无二的性能,100平方毫米取样面积与吹扫时间高达2.5个数量级/秒 的灵敏度、精确度和准确度。 拥有四个不同薄厚的样品支架,用户也可以自定义样品支架。

软件系统NEW SOFTWARE

新颖直观,基于Windows 的软件系统,具有所有 LA 需要的功能,即使是光路吹扫气也通过电磁阀和质量流量控制器控制。双向触发,可以允许无限剥蚀点线面的同时采集数据。软件终身免费升级。

 

 

 

  • 超短脉冲长度: < 4 ns
  • 超级均质化平顶光束
  • >15J/cm2能量密度剥蚀所有样品
  • 光学衰减器调节能量0-100%输出
  • 独有的同步动态剥蚀功能,利于控制和深度剥蚀
  • 30个快速切换光圈 3um 到 > 250um 超宽范围
  • <2um高分辨率视频采集系统,动态图像显示(FOV)
  • 100mm*100mm XY方向移动距离,步进分辨率<1um
  • 超大50 mm 的Z 轴聚焦行程,步进分辨率<0.1um
  • 带导航技术的视频采集系统
  • 光学系统采用 加布罗 超级减震结构
  • HelEx 双体积样品池设计,独家技术
  • 所有气体密封设计,保证安全

     

     

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